硅烷属于硅氢化物类,是最简单、应用最广泛的硅烷化合物。
化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下) |
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阀门 | 容量 (左) |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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硅烷 | 由硅和氢组成的无色、高度易燃且反应性的气体 | 99.9999% | CGA350/DISS-632 | 44 | 1000 | 10公斤 |
用于生产硅基电子元件。在化学气相沉积 (CVD) 等工艺中沉积薄硅膜的前体。
通过沉积非晶或多晶硅层来制造薄膜光伏电池至关重要。
用于生产提高耐用性和性能的硅基涂层。