硅烷属于硅氢化物类，是最简单、应用最广泛的硅烷化合物。
(21.1℃以下）
(磅/平方英寸)
用于生产硅基电子元件。在化学气相沉积 (CVD) 等工艺中沉积薄硅膜的前体。
通过沉积非晶或多晶硅层来制造薄膜光伏电池至关重要。
用于生产提高耐用性和性能的硅基涂层。
