C4F8 属于全氟碳 (PFC) 家族，该家族由仅含碳和氟原子的化合物组成。八氟环丁烷是一种强效温室气体，在大气中的寿命很长。由于其对全球变暖的贡献，许多地区对其排放进行了管制。
| 化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下） |
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| 阀门 | 容量 （左） |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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| 全氟环丁烷 | 无色、无味、不易燃、化学性质稳定的气体 | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 25 | 32公斤 |
八氟环丁烷主要用作气体/等离子蚀刻工艺中的介质。
八氟环丁烷主要用作气体/等离子蚀刻工艺中的介质。
