NF3 比六氟化硫 (SF6) 等传统气体更高效、更环保。它可分解为氮和氟，与其他替代气体相比可减少温室气体问题。
| 化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下） |
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| 阀门 | 容量 （左） |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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| 三氟化氮 | 无色无味气体 | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18公斤 |
用作半导体和平板显示器制造过程中的清洁气体。是清洁化学气相沉积 (CVD) 室的必需品。
应用于太阳能电池板生产的清洁工艺
含氟化合物的前体
为微电子等离子蚀刻提供活性氟源。
