盐酸 (HCl) 是一种强腐蚀性酸,常用于各种工业、实验室和商业用途。HCl 与皮肤接触会导致严重烧伤,并损坏金属和组织等材料。
| 化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下) |
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| 阀门 | 容量 (左) |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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| 盐酸 | 无色、有毒、腐蚀性、不燃气体,有窒息气味 | 99.999% | CGA330/DISS-634 | 44 | 613 | 27.2公斤 |

高纯度氯化氢(HCl)用于大规模集成电路生产的单晶硅片的气相抛光、外延反应室的蚀刻等工艺。

高纯度氯化氢(HCl)用于大规模集成电路生产的单晶硅片的气相抛光、外延反应室的蚀刻等工艺。