六氟乙烷（C2F6）属于全氟碳（PFC）家族。由于其稳定性和惰性，六氟乙烷被广泛应用于各种工业和技术应用。
| 化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下） |
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| 阀门 | 容量 （左） |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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| 六氟乙烷 | 无色、无味、不易燃 | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 430 | 30公斤 |
六氟乙烷作为等离子刻蚀工作气体在微电子工业的发展中发挥了重要作用，是超大规模集成电路加工过程中必不可少的介质。
有时用作制冷剂或专用制冷剂混合物的成分。
用作分析仪器和环境测试的校准气体。
