为了提供低于 100% 的浓度,可以用氩气、氦气、氢气或氮气稀释锗烷。特别是当需要沉积相对少量的锗时,使用这种形式的锗可以为该过程增加额外的控制程度。
集装箱信息 | ||||||||||
气瓶连接器:CGA-350
掺杂剂浓度可以与UHP或VLSI级的平衡气相混合。 |
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锗烷浓缩 | 气缸尺寸 | 压力(磅/平方英尺) | 氩气 | 氦 | 氢 | 氮 | ||||
英尺3 | 米3 | 英尺3 | 米3 | 英尺3 | 米3 | 英尺3 | 米3 | |||
5ppm – 2% | 044
016 |
1500
1500 |
167
63 |
4.7
1.8 |
146
55 |
4.1
1.6 |
146
55 |
4.1
1.6 |
156
58 |
4.4
1.7 |
一氧化碳用于制备校准一氧化碳报警器的一氧化碳标准气体。
作为还原气体,它被用于金属还原过程中以净化某些金属。