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氢化锗

为了提供低于 100% 的浓度,可以用氩气、氦气、氢气或氮气稀释锗烷。特别是当需要沉积相对少量的锗时,使用这种形式的锗可以为该过程增加额外的控制程度。

物理参数

集装箱信息
气瓶连接器:CGA-350

掺杂剂浓度可以与UHP或VLSI级的平衡气相混合。

锗烷浓缩 气缸尺寸 压力(磅/平方英尺) 氩气
英尺3 3 英尺3 3 英尺3 3 英尺3 3
5ppm – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

应用

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