锗烷在空气中可自燃。锗烷与氢气、氩气、氦气和氮气相容,因此经常与这些气体混合运输。
化学名称 | 财产 | 纯度 | 供给包参数
(21.1℃以下) |
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阀门 | 容量 (左) |
压力
(磅/平方英寸) |
气体 体积 |
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四氟化碳 | 无味、基本无毒、不易燃 | 99.999% | CGA580/DISS-716 | 44 | 2000 | 31.8公斤 |
四氟化碳是目前微电子行业应用最广泛的等离子蚀刻气体。
由于其化学稳定性,四氟化碳也用于金属冶炼。
在塑料工业中,它用于合成橡胶、氯丁橡胶和聚氨酯生产等应用。