Сверхчистый азот относится к азотному газу, очищенному до чрезвычайно высоких уровней чистоты, с минимальным содержанием примесей, таких как кислород, влага или углеводороды. Основные методы очистки азота включают адсорбцию, адсорбцию при переменном давлении (PSA) и мембранное разделение. Сверхчистый азот необходим в приложениях, требующих среды, свободной от загрязнений.
| Химическое название | Свойство | Чистота |
| Сверхчистый азот | Бесцветный, не имеющий запаха газ, обычно нетоксичен. | ≥99,999%1 |
