Силан относится к группе гидридов кремния и является простейшим и наиболее широко используемым соединением силана.
| Химическое название | Свойство | Чистота | Параметры пакета поставки
(ниже 21,1℃) |
|||
| Клапан | Емкость (Л) |
Давление
(фунт/кв. дюйм изб.) |
Газ Объем |
|||
| Силан | бесцветный, легковоспламеняющийся и реакционноспособный газ, состоящий из кремния и водорода | 99.9999% | CGA350/ДИСС-632 | 44 | 1000 | 10кг |
Используется в производстве электронных компонентов на основе кремния. Прекурсор для нанесения тонких кремниевых пленок в таких процессах, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
Необходим при производстве тонкопленочных фотоэлектрических элементов путем нанесения слоев аморфного или поликристаллического кремния.
Применяется для производства покрытий на основе кремния, повышающих долговечность и эксплуатационные характеристики.
