C4F8 принадлежит к семейству перфторуглеродов (PFC), которое состоит из соединений, содержащих только атомы углерода и фтора. Октафторциклобутан — мощный парниковый газ с длительным временем жизни в атмосфере. Его выбросы регулируются во многих регионах из-за его вклада в глобальное потепление.
| Химическое название | Свойство | Чистота | Параметры пакета поставки
(ниже 21,1℃) |
|||
| Клапан | Емкость (Л) |
Давление
(фунт/кв. дюйм изб.) |
Газ Объем |
|||
| Перфторциклобутан | Бесцветный, не имеющий запаха, негорючий и химически стабильный газ. | 99.999% | CGA660/ДИСС-716 | 44 | 25 | 32кг |
Октафторциклобутан в основном используется в качестве среды в процессах газоплазменного травления.
Октафторциклобутан в основном используется в качестве среды в процессах газоплазменного травления.
