NF3 более эффективен и экологичен, чем традиционные газы, такие как гексафторид серы (SF6). Он может разлагаться на азот и фтор, что снижает проблемы с парниковыми газами по сравнению с альтернативами.
| Химическое название | Свойство | Чистота | Параметры пакета поставки
(ниже 21,1℃) |
|||
| Клапан | Емкость (Л) |
Давление
(фунт/кв. дюйм изб.) |
Газ Объем |
|||
| Трифторид азота | бесцветный, не имеющий запаха газ | 99.995% | CGA330/ДИСС-640 | 44 | 1450 | 18 кг |
Используется как чистящий газ в производстве полупроводников и плоских дисплеев. Необходим для очистки камер химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Применяется в производстве солнечных панелей для процессов очистки.
Прекурсор для фторсодержащих соединений
Является источником реактивного фтора при плазменном травлении для микроэлектроники.
