Номер телефона 20250213102421

Германская смесь

GeH4

Для обеспечения концентраций менее 100%, герман можно разбавить аргоном, гелием, водородом или азотом. В частности, когда необходимо осадить относительно небольшие количества германия, использование этой формы германия может добавить дополнительную степень контроля к процессу.

Физические параметры

Информация о контейнере
Соединитель для газового баллона: CGA-350

Концентрация легирующей примеси может быть смешана с равновесной газовой фазой класса UHP или VLSI.

Концентрация германия алкана Размер цилиндра Давление (фунтов на квадратный фут) аргон Гелий Водород Азот
футы3 м3 футы3 м3 футы3 м3 футы3 м3
5ppm – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Приложения

Запрос продукта