NF3 é mais eficiente e ecologicamente correto do que gases tradicionais como hexafluoreto de enxofre (SF6). Ele pode se decompor em nitrogênio e flúor, reduzindo preocupações com gases de efeito estufa em comparação a alternativas.
| Nome químico | Propriedade | Pureza | Parâmetros do pacote de fornecimento
(Abaixo de 21,1℃） |
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| Válvula | Capacidade (E) |
Pressão
(psig) |
Gás Volume |
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| Trifluoreto de nitrogênio | gás incolor e inodoro | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18 kg |
Usado como gás de limpeza na fabricação de semicondutores e telas planas. Essencial para limpeza de câmaras de deposição química de vapor (CVD).
Aplicado na produção de painéis solares para processos de limpeza
Precursor de compostos contendo flúor
Fornece uma fonte de flúor reativo na gravação de plasma para microeletrônica.
