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Mix alemão

GeH4

Para fornecer concentrações menores que 100%, o germano pode ser diluído com argônio, hélio, hidrogênio ou nitrogênio. Particularmente quando quantidades relativamente pequenas de germânio precisam ser depositadas, o uso desta forma de germânio pode adicionar um grau extra de controle ao processo.

Parâmetros físicos

Informações do contêiner
Conector para cilindro de gás: CGA-350

A concentração de dopante pode ser misturada com a fase gasosa de equilíbrio de grau UHP ou VLSI.

Concentração de alcano de germânio Tamanho do cilindro Pressão (libras por pé quadrado) Argônio Hélio Hidrogênio Azoto
pés3 eu3 pés3 eu3 pés3 eu3 pés3 eu3
5 ppm – 2%1 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Aplicações

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