Numer rejestracyjny 20250213102421

Mieszanka niemiecka

GeH4

Aby uzyskać stężenia mniejsze niż 100%, german można rozcieńczyć argonem, helem, wodorem lub azotem. Szczególnie gdy konieczne jest osadzenie stosunkowo niewielkich ilości germanu, użycie tej formy germanu może dodać dodatkowy stopień kontroli do procesu.

Parametry fizyczne

Informacje o kontenerze
Złącze butli gazowej: CGA-350

Koncentrację domieszki można zmieszać z fazą gazową równowagową klasy UHP lub VLSI.

Stężenie alkanu germanowego Rozmiar cylindra Ciśnienie (funty na stopę kwadratową) Argon Hel Wodór Azot
stopy3 M3 stopy3 M3 stopy3 M3 stopy3 M3
5 stron na minutę – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Aplikacje

Żądanie produktu