NF3 is efficiënter en milieuvriendelijker dan traditionele gassen zoals zwavelhexafluoride (SF6). Het kan ontbinden in stikstof en fluor, waardoor de zorgen over broeikasgassen worden verminderd in vergelijking met alternatieven.
| Chemische naam | Eigendom | Zuiverheid | Parameters van het leveringspakket
(Onder 21,1℃) |
|||
| Ventiel | Capaciteit (L) |
Druk
(psig) |
Gas Volume |
|||
| Stikstoftrifluoride | kleurloos, geurloos gas | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18kg |
Wordt gebruikt als reinigingsgas bij de productie van halfgeleiders en flat-panel displays. Essentieel voor het reinigen van chemische dampdepositie (CVD)-kamers.
Toegepast bij de productie van zonnepanelen voor reinigingsprocessen
Voorloper voor fluorhoudende verbindingen
Biedt een bron van reactief fluor bij plasma-etsen voor micro-elektronica.
