NF3 is efficiënter en milieuvriendelijker dan traditionele gassen zoals zwavelhexafluoride (SF6). Het kan ontbinden in stikstof en fluor, waardoor de zorgen over broeikasgassen worden verminderd in vergelijking met alternatieven.
Chemische naam | Eigendom | Zuiverheid | Parameters van het leveringspakket
(Onder 21,1℃) |
|||
Ventiel | Capaciteit (L) |
Druk
(psig) |
Gas Volume |
|||
Stikstoftrifluoride | kleurloos, geurloos gas | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18kg |
Wordt gebruikt als reinigingsgas bij de productie van halfgeleiders en flat-panel displays. Essentieel voor het reinigen van chemische dampdepositie (CVD)-kamers.
Toegepast bij de productie van zonnepanelen voor reinigingsprocessen
Voorloper voor fluorhoudende verbindingen
Biedt een bron van reactief fluor bij plasma-etsen voor micro-elektronica.