微信截图 20250213102421

Duitse mix

GeH4

Om concentraties te verkrijgen die lager zijn dan 100%, kan germanium worden verdund met argon, helium, waterstof of stikstof. Vooral wanneer er relatief kleine hoeveelheden germanium moeten worden afgezet, kan het gebruik van deze vorm van germanium een extra mate van controle aan het proces toevoegen.

Fysieke parameters

Containerinformatie
Gasflesaansluiting: CGA-350

De dopantconcentratie kan worden gemengd met de evenwichtsgasfase van UHP- of VLSI-kwaliteit.

Germaniumalkaanconcentratie Cilindergrootte Druk (pond per vierkante voet) Argon Helium Waterstof Stikstof
voet3 M3 voet3 M3 voet3 M3 voet3 M3
5 ppm – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Toepassingen

Productaanvraag