Data di nascita 20250213102421

Miscela germanica

GeH4

Per ottenere concentrazioni inferiori a 100%, il germanio può essere diluito con argon, elio, idrogeno o azoto. In particolare quando è necessario depositare quantità relativamente piccole di germanio, l'uso di questa forma di germanio può aggiungere un ulteriore grado di controllo al processo.

Parametri fisici

Informazioni sul contenitore
Connettore bombola gas: CGA-350

La concentrazione del drogante può essere miscelata con la fase gassosa di equilibrio di grado UHP o VLSI.

Concentrazione di alcano germanio Dimensioni del cilindro Pressione (libbre per piede quadrato) Argon Elio Idrogeno Azoto
piedi3 M3 piedi3 M3 piedi3 M3 piedi3 M3
5 ppm – 2%1 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Applicazioni

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