Le C4F8 appartient à la famille des perfluorocarbures (PFC), qui se compose de composés contenant uniquement des atomes de carbone et de fluor. L'octafluorocyclobutane est un puissant gaz à effet de serre avec une longue durée de vie dans l'atmosphère. Ses émissions sont réglementées dans de nombreuses régions en raison de sa contribution au réchauffement climatique.
| Nom chimique | Propriété | Pureté | Paramètres du package d'approvisionnement
(Moins de 21,1 ℃) |
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| Soupape | Capacité (L) |
Pression
(psig) |
Gaz Volume |
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| Perfluorocyclobutane | Gaz incolore, inodore, ininflammable et chimiquement stable | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 25 | 32 kg |
L'octafluorocyclobutane est principalement utilisé comme milieu dans les procédés de gravure au gaz/plasma.
L'octafluorocyclobutane est principalement utilisé comme milieu dans les procédés de gravure au gaz/plasma.
