Date de création 20250213102421

Mélange allemand

GeH4

Pour obtenir des concentrations inférieures à 100%, le germane peut être dilué avec de l'argon, de l'hélium, de l'hydrogène ou de l'azote. En particulier lorsque des quantités relativement faibles de germanium doivent être déposées, l'utilisation de cette forme de germanium peut ajouter un degré de contrôle supplémentaire au processus.

Paramètres physiques

Informations sur le conteneur
Connecteur de bouteille de gaz : CGA-350

La concentration de dopant peut être mélangée à une phase gazeuse d'équilibre de qualité UHP ou VLSI.

Concentration d'alcanes de germanium Taille du cylindre Pression (livres par pied carré) Argon Hélium Hydrogène Azote
pieds3 m3 pieds3 m3 pieds3 m3 pieds3 m3
5 ppm – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

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