Pour obtenir des concentrations inférieures à 100%, le germane peut être dilué avec de l'argon, de l'hélium, de l'hydrogène ou de l'azote. En particulier lorsque des quantités relativement faibles de germanium doivent être déposées, l'utilisation de cette forme de germanium peut ajouter un degré de contrôle supplémentaire au processus.
Informations sur le conteneur | ||||||||||
Connecteur de bouteille de gaz : CGA-350
La concentration de dopant peut être mélangée à une phase gazeuse d'équilibre de qualité UHP ou VLSI. |
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Concentration d'alcanes de germanium | Taille du cylindre | Pression (livres par pied carré) | Argon | Hélium | Hydrogène | Azote | ||||
pieds3 | m3 | pieds3 | m3 | pieds3 | m3 | pieds3 | m3 | |||
5 ppm – 2% | 044
016 |
1500
1500 |
167
63 |
4.7
1.8 |
146
55 |
4.1
1.6 |
146
55 |
4.1
1.6 |
156
58 |
4.4
1.7 |
Le monoxyde de carbone est utilisé pour préparer le gaz étalon de monoxyde de carbone pour l'étalonnage des détecteurs de monoxyde de carbone.
En tant que gaz réducteur, il est utilisé dans les processus de réduction des métaux pour purifier certains métaux.