El C4F8 pertenece a la familia de los perfluorocarbonos (PFC), que consiste en compuestos que contienen solo átomos de carbono y flúor. El octafluorociclobutano es un potente gas de efecto invernadero con una larga vida atmosférica. Sus emisiones están reguladas en muchas regiones debido a su contribución al calentamiento global.
| Nombre químico | Propiedad | Pureza | Parámetros del paquete de suministro
(Menos de 21,1 ℃) |
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| Válvula | Capacidad (L) |
Presión
(psi) |
Gas Volumen |
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| Perfluorociclobutano | Gas incoloro, inodoro, no inflamable y químicamente estable. | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 25 | 32 kilos |
El octafluorociclobutano se emplea principalmente como medio en procesos de grabado con gas/plasma.
El octafluorociclobutano se emplea principalmente como medio en procesos de grabado con gas/plasma.
