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Mezcla alemana

GeH4

Para proporcionar concentraciones inferiores a 100%, el germanio se puede diluir con argón, helio, hidrógeno o nitrógeno. En particular, cuando es necesario depositar cantidades relativamente pequeñas de germanio, el uso de esta forma de germanio puede añadir un grado adicional de control al proceso.

Parámetros físicos

Información del contenedor
Conector de cilindro de gas: CGA-350

La concentración de dopante se puede mezclar con la fase gaseosa de equilibrio de grado UHP o VLSI.

Concentración de alcanos de germanio Tamaño del cilindro Presión (libras por pie cuadrado) Argón Helio Hidrógeno Nitrógeno
pie3 metro3 pie3 metro3 pie3 metro3 pie3 metro3
5 ppm – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Aplicaciones

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