NF3 ist effizienter und umweltfreundlicher als herkömmliche Gase wie Schwefelhexafluorid (SF6). Es kann in Stickstoff und Fluor zerfallen, wodurch die Treibhausgasbelastung im Vergleich zu Alternativen verringert wird.
| Chemischer Name | Eigentum | Reinheit | Lieferpaketparameter
(Unter 21,1℃） |
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| Ventil | Kapazität (Mitte) |
Druck
(psig) |
Gas Volumen |
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| Stickstofftrifluorid | farbloses, geruchloses Gas | 99.995% | CGA330/DISS-640 | 44 | 1450 | 18 kg |
Wird als Reinigungsgas bei der Herstellung von Halbleitern und Flachbildschirmen verwendet. Unverzichtbar für die Reinigung von Kammern zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD).
Wird bei der Herstellung von Solarmodulen für Reinigungsprozesse eingesetzt
Vorläufer für fluorhaltige Verbindungen
Stellt eine Quelle für reaktives Fluor beim Plasmaätzen für die Mikroelektronik dar.
