Seriennummer 20250213102421

Germanische Mischung

GeH4

Um Konzentrationen von weniger als 100% zu erreichen, kann Germanium mit Argon, Helium, Wasserstoff oder Stickstoff verdünnt werden. Insbesondere wenn relativ kleine Mengen Germanium abgeschieden werden müssen, kann die Verwendung dieser Form von Germanium dem Prozess zusätzliche Kontrolle verleihen.

Physikalische Parameter

Containerinformationen
Gasflaschenanschluss: CGA-350

Die Dotierstoffkonzentration kann mit der Gleichgewichtsgasphase der UHP- oder VLSI-Qualität gemischt werden.

Germaniumalkankonzentration Zylindergröße Druck (Pfund pro Quadratfuß) Argon Helium Wasserstoff Stickstoff
Fuß3 M3 Fuß3 M3 Fuß3 M3 Fuß3 M3
5 ppm – 21111111111 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Anwendungen

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