Silan patří do skupiny hydridů křemíku a je nejjednodušší a nejpoužívanější silanovou sloučeninou.
| Chemický název | Vlastnictví | Čistota | Parametry dodávky
(pod 21,1℃) |
|||
| Ventil | Kapacita (L) |
Tlak
(psig) |
Plyn Objem |
|||
| silan | bezbarvý, vysoce hořlavý a reaktivní plyn složený z křemíku a vodíku | 99.9999% | CGA350/DISS-632 | 44 | 1000 | 10 kg |
Používá se při výrobě elektronických součástek na bázi křemíku. Prekurzor pro nanášení tenkých křemíkových filmů v procesech, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD).
Nezbytný při výrobě tenkovrstvých fotovoltaických článků nanášením amorfních nebo polykrystalických křemíkových vrstev.
Používá se k výrobě povlaků na bázi křemíku, které zlepšují odolnost a výkon.
