C4F8 patří do rodiny perfluorovaných uhlovodíků (PFC), která se skládá ze sloučenin obsahujících pouze atomy uhlíku a fluoru. Oktafluorcyklobutan je silný skleníkový plyn s dlouhou atmosférickou životností. Jeho emise jsou v mnoha regionech regulovány kvůli jeho příspěvku ke globálnímu oteplování.
| Chemický název | Vlastnictví | Čistota | Parametry dodávky
(pod 21,1℃) |
|||
| Ventil | Kapacita (L) |
Tlak
(psig) |
Plyn Objem |
|||
| Perfluorcyklobutan | Bezbarvý, nehořlavý a chemicky stabilní plyn bez zápachu | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 25 | 32 kg |
Oktafluorcyklobutan se primárně používá jako médium v procesech plynového/plazmového leptání.
Oktafluorcyklobutan se primárně používá jako médium v procesech plynového/plazmového leptání.
