Hexafluorethan (C2F6) patří do skupiny perfluorovaných uhlovodíků (PFC). Díky své stabilitě a inertnosti je široce používán v různých průmyslových a technologických aplikacích.
| Chemický název | Vlastnictví | Čistota | Parametry dodávky
(pod 21,1℃) |
|||
| Ventil | Kapacita (L) |
Tlak
(psig) |
Plyn Objem |
|||
| Hexafluorethan | Bezbarvý, bez zápachu, nehořlavý | 99.999% | CGA660/DISS-716 | 44 | 430 | 30 kg |
Hexafluorethan hraje důležitou roli jako pracovní plyn pro plazmové leptání při rozvoji mikroelektronického průmyslu a je nezbytným prostředkem při zpracování ultravelkých integrovaných obvodů.
Příležitostně se používá jako chladivo nebo součást specializovaných směsí chladiv.
Působí jako kalibrační plyn pro analytické přístroje a environmentální testování.
