微信截图 20250213102421

Německý mix

GeH4

Pro dosažení koncentrací nižších než 100% lze germany zředit argonem, heliem, vodíkem nebo dusíkem. Zejména v případě, kdy je třeba nanést relativně malá množství germania, může použití této formy germania přidat další stupeň kontroly procesu.

Fyzikální parametry

Informace o kontejneru
Konektor plynové láhve: CGA-350

Koncentraci dopantu lze smíchat s rovnovážnou plynnou fází třídy UHP nebo VLSI.

Koncentrace alkanu germánia Velikost válce Tlak (v librách na čtvereční stopu) Argon Hélium Vodík Dusík
ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3
5 str./min – 2% 044

016

1500

1500

167

63

4.7

1.8

146

55

4.1

1.6

146

55

4.1

1.6

156

58

4.4

1.7

Aplikace

Žádost o produkt