Germane se může na vzduchu samovolně vznítit. Germane je kompatibilní s vodíkem, argonem, heliem a dusíkem a často se přepravuje jako směs s těmito plyny.
| Chemický název | Vlastnictví | Čistota | Parametry dodávky
(pod 21,1℃) |
|||
| Ventil | Kapacita (L) |
Tlak
(psig) |
Plyn Objem |
|||
| Tetrafluorid uhličitý | bez zápachu, v podstatě netoxický a nehořlavý | 99.999% | CGA580/DISS-716 | 44 | 2000 | 31,8 kg |
Fluorid uhličitý je v současnosti nejrozšířenějším plynem pro plazmové leptání v mikroelektronickém průmyslu.
Díky své chemické stabilitě se fluorid uhličitý používá také při tavení kovů.
V plastikářském průmyslu se používá v aplikacích, jako je výroba syntetického kaučuku, neoprenu a polyuretanu.
