يشير مصطلح النيتروجين فائق النقاء إلى غاز النيتروجين المكرر إلى مستويات نقاء عالية للغاية، مع الحد الأدنى من الشوائب مثل الأكسجين أو الرطوبة أو الهيدروكربونات. تشمل الطرق الأساسية لتنقية النيتروجين الامتصاص والامتصاص بالضغط المتأرجح (PSA) وفصل الغشاء. يعد النيتروجين فائق النقاء ضروريًا في التطبيقات التي تتطلب بيئة خالية من التلوث.
| الاسم الكيميائي | ملكية | نقاء |
| نيتروجين نقي للغاية | غاز عديم اللون والرائحة وغير سام عادةً | ≥99.999% |
